真空爐
典型應用
電子元器件、半導體晶圓等相關材料在真空環境下的燒結、退火工藝。
參數及特點
◆ 額定溫度：500℃；
◆ 最高溫度：700℃；
◆ 極限真空度：5×10-4Pa；
◆ 爐管材質：熔融石英；
◆ 有效尺寸：φ250×500mm（D×H）；
◆ 溫度均勻性：±2℃；
◆ 具有超溫、停氣、電機過載、欠逆相等聲光報警保護功能。
產品細節展示
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